本文原始成果发表于 Science,属于全球顶级综合学术期刊,因此采用顶刊解读标题。先把整机结论摆出来:奥地利 ISTA 课题组用DIW浆料直写打出直径 1 mm、高 0.8 mm 的微型热电柱,排成 32 对 p/n 阵列组装成热电制冷器(TEC),热端固定 30 °C、空气中无外加热负荷时冷热端最大温差 ΔTmax 达到 50 °C;抽到真空、消除对流漏热后温差突破 64 °C;0.15 A 电流下制冷系数 COP 最高 3.8,零温差时最大制冷热通量密度 0.87 W·cm⁻²。这组数字已经落进商用高端 TEC 的性能区间,而制造路线里没有区熔单晶、没有热压、没有精密切割。
支撑整机的是两种打印材料本身的表现:p 型 (Bi,Sb)₂Te₃ 室温 zT = 1.42(30–170 °C 平均 1.3),n 型 Ag₂Se 室温 zT = 1.3(30–120 °C 平均 1.32)。真正反常的地方在于,这两种材料烧结后的孔隙率都接近 50%。多孔材料能跑出致密铸锭级别的 zT,是这项工作最需要解释清楚的一件事。
热电优值 zT = S²σT/(κele + κlat),分子上要高电导率与高塞贝克系数,分母上要低热导率。有效介质理论其实早就给过一个乐观预测:孔隙会同时压低电导率和晶格热导率,如果两者按同比例下降,zT 理论上不变。但过去十年挤出成型的热电材料,实测 zT 长期只有块体的六成左右,落差就出在"同比例"这个前提不成立。
原因是颗粒之间只有物理接触。粉末堆叠形成的晶界没有原子尺度的连续性,载流子每穿过一个界面都要付出散射代价,电导率下降的斜率远陡于热导率。声子被孔隙散射的收益,抵不过电子被界面阻挡的损失。所以问题从来不是"能不能打印出热电材料",而是"打印出来的颗粒能不能在烧结后连成一体"。这项研究把全部力气都压在了界面键合上,且给 p 型和 n 型各设计了一条完全不同的路径。
n 型 Ag₂Se 的配方简单到近乎极端:粒径 50–300 nm 的 Ag₂Se 颗粒与甘油按质量比 1:2 混合,不加任何有机粘结剂。可行性来自颗粒表面自带电荷,在甘油中靠静电斥力搭出网络结构,浆料因此获得足够高的屈服应力和偏弹性的黏弹响应,挤出后生坯能自立、不塌陷。不加粘结剂的直接好处是烧结时没有有机物需要排除,不会在柱体内部留下脱脂裂纹或残碳。
p 型这边要麻烦得多。Bi₀.₅Sb₁.₅Te₃ 粉体如果只配水基溶剂,低温下根本接不上键、颗粒间形不成连续结合;于是研究塞进两种无机固体粘结剂——铋纳米颗粒(Bi NPs)与 Sb₂Te₄ 硫属金属酸盐前驱体(ChaM),溶剂换成乙二醇,再靠黄原胶把流变拉到可挤出。三者的最优摩尔配比是 BST 75%、Bi NPs 10%、Sb₂Te₄ ChaM 15%,合称 BST-B-ST:挤出时只需把它们均匀分散开,真正的化学反应推迟到烧结阶段才发生。对照试验也证明这两种助剂缺一不可——只放 BST 粉末、或只补 ChaM 的样品,电导率与 zT 都明显掉档。
两套墨水的流变共性很明确:都是高固含量、明显剪切稀化、且屈服应力足以托住悬空段而不塌。为了坐实这一点、并排除取向带来的性能偏差,研究先打出 12 mm × 5 mm × 16 mm 和 12 mm × 12 mm × 5 mm 两种矩形块,分别测不同取向上的输运性能,确认没有织构效应之后,才真正转向 1 mm 直径的微柱阵列。
Ag₂Se 能自己长在一起,靠的是一次固-固相变。当温度升到约 133 °C,它从低温正交相跳到高温超离子相,Ag⁺ 的迁移率一下子蹿高,原子输运表现得几乎像液体;这一步不用任何外加压力,Ag、Se 原子就在颗粒接触点处重新排布。等降温回到正交相,原本独立的颗粒之间便留下小角度晶界与连续的导电通路。高分辨电镜下能看到烧结后晶粒间密布位错阵列和层错,这些缺陷正是把晶格热导率压到 0.12 W·m⁻¹·K⁻¹ 的直接原因。
把 p 型 BST-B-ST 的界面连起来,靠的是一招"原位软钎焊"。其化学结果是:升温时生成的全新 (Bi,Sb)₂Te₃ 相,成分与周围基体完全吻合,于是像焊料那样把原先分立的颗粒桥接成没有成分突变的连续晶界。实现过程则是:熔点仅 270 °C 的 Bi 纳米颗粒先熔化,液相带动 Sb₂Te₄ ChaM 与球磨 BST 颗粒表面的原子扩散并发生化学反应。原位加热 TEM 给出直接证据——未烧结时 Bi 颗粒、Sb₂Te₄、BST 三者界线清楚,到 400 °C 已融成一片连续相,晶界处密集的位错正是液相烧结的标志。
两条路线的共同结果是:电子走的是原子级连通的骨架,声子撞的是接近 50% 的孔隙与高密度缺陷,电、热输运被拆开分别优化。
把 n 型 Ag₂Se 的输运参数拆开看:室温电导率 σ = 586 S·cm⁻¹、霍尔迁移率 μ = 864 cm²·V⁻¹·s⁻¹、载流子浓度 n = 3.58 × 10¹⁸ cm⁻³,三项与文献里高性能致密 Ag₂Se 基本在同一水平;再配上 0.12 W·m⁻¹·K⁻¹ 的晶格热导率,最终得到 zT = 1.3。也就是说,多孔结构并没有在电输运这一侧拖后腿。
p 型 BST-B-ST 的路径不同。Bi 含量提高使载流子浓度下降,塞贝克系数因此升到 258 μV·K⁻¹;原位键合把迁移率拉起来,电导率 σ = 148 S·cm⁻¹;总热导率约 0.21 W·m⁻¹·K⁻¹。三项相乘得到室温 zT = 1.42。数值上 σ 并不高,胜在 S 的平方项和极低的 κ。
对器件设计而言,有项结论很实用:p/n 柱往往要在阵列里按不同方向排布,而 BST-B-ST 打印块在多种测试取向上的热电性能几乎一致,说明逐层挤出没有带进明显的晶体织构,材料是各向同性的——这就省掉了取向匹配的麻烦。多批次样品的 zT 波动被控在 ±10% 以内,并经不同实验室独立复测确认。
打印完的微柱顶部会留下挤出收尾形成的锥形尖,研究用程序化刮削把顶面磨平,给后续焊接留出平面;上下端面再蒸镀约 0.5 μm 厚的铂电极,并以富 Bi 焊膏接上铜导电层——这两步都是为了把接触电阻压到最低。冷热端配自制水冷循环散热,冷端温度由埋入铜板的热敏电阻实时盯着。
整机曲线符合热电制冷的基本取舍关系:制冷热通量密度在零温差时最高(0.87 W·cm⁻²),随温差增大而下降;ΔTmax 在空气中 50 °C、真空中超过 64 °C,差值几乎全部来自对流漏热。研究者指出,如果接触电阻能进一步降低,实测温差还有向材料 zT 决定的理论极限靠拢的空间——这意味着目前的短板已经从材料转移到了封装界面。
可靠性方面,器件连续运行 7 天、经历 200 次冷热循环后,冷端温度与制冷能力都没有衰减,说明低温烧结形成的冶金键合能扛住热循环应力。当然,商用产品通常要求数万次循环与数年寿命数据,这一步还需要更长时间的验证。
与传统制造相比,这条路线砍掉的是高温合成铸锭、热压或放电等离子烧结、精密切割与抛光几道工序,剩下的是挤出成型加低温无压烧结。材料利用率的差别尤其明显:切割铸锭时相当比例的材料变成碎屑,而按路径沉积几乎不产生切削损耗,对含银、含碲这类高价元素的体系意义更大。几何自由度是第三项收益,微型柱、异形阵列、梯度成分结构都能直接由模型驱动,不必开模。
遗留问题同样清楚。接触电阻受打印柱端面粗糙度、电极蒸镀均匀性、焊膏界面三者共同影响,是当前整机性能的主要限制项;Ag₂Se 含银,成本高于常规 Bi₂Te₃ 基 n 型材料,若能把同样的键合思路移植到 Bi₂(Te,Se)₃ 体系,经济性会好很多;从单柱到整板数百对阵列的放大,打印路径、干燥收缩与烧结均匀性都需要重新标定。
从设备端复现这类工作,难度集中在"小尺寸 + 高固含量 + 批量一致"这三个条件的叠加上。
第一是挤出量的分辨率。直径 1 mm、高 0.8 mm 的柱体,单柱沉积量在微升量级,气压驱动的响应滞后会直接反映为柱高不齐。这类工况下螺杆式或柱塞式精密挤出更可控,配合流量闭环把每根柱的体积偏差压住,才能让 32 对柱在后续蒸镀和焊接时共面。
第二是停走时的拉丝与收尾。阵列打印意味着大量的抬针—移位—落针循环,高屈服应力浆料在抬针瞬间容易带出细丝,形成顶部锥尖。研究里用刮削工序补救,设备侧则可以通过回抽参数、抬针速度与延时的组合把锥尖高度先压下去,减少后处理量。
第三是墨水的保存与料筒环境。甘油体系和乙二醇体系挥发性都不高,但纳米颗粒长时间静置存在沉降与团聚风险,料筒恒温加上打印前的真空脱泡是标准动作。含 Ag₂Se、Bi 纳米颗粒的浆料对氧较敏感,惰性气氛料筒在长时间连续作业时值得配置。
第四是与低温烧结的衔接。133 °C 的相变点与 270 °C 的 Bi 熔点都落在常规马弗炉的低温段,控温精度和升温速率的稳定性直接决定界面能不能连上。铂邦在为半导体功能浆料客户配置DIW浆料直写系统时,一般会把浆料流变测试、挤出参数标定与烧结曲线三段作为一个整体来调,单独优化其中任一段,最终件的电输运数据都不容易复现。
本文完整总结半导体热电功能墨水调配、DIW浆料直写微型元件挤出成型、低温界面烧结全套工艺,支撑各类热电、半导体功能器件科研开发。天津铂邦科技专注DIW浆料直写设备研发制造,可根据科研、量产需求,提供标准化打印整机、软硬件系统定制、高固含量功能墨水专属工艺全流程技术服务。
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